南大光电：目前ArF光刻胶项目已完成的产线设计产能为25吨

南大光电(300346)接受机构调研时表示，公司ArF光刻胶产品开发和产业化项目，目前已完成25吨光刻胶生产线建设，主要先进光刻设备，如ASML浸没式光刻机等已经完成安装并投入使用。2020年底，公司自主研发的ArF光刻胶产品成功通过下游客户的使用认证，成为通过产品验证的第一只国产ArF光刻胶，产业化取得关键突破，拿到国产光刻胶的首个订单，实现小批量销售。